1、仪器的主要用途
基于平板剪切干涉原理,采用一块具有一定厚度并带有微量楔角的高质量光学平板将一个具有空间相干性的波面分裂为两个完全相同的波面,并且使这两个波面彼此相对错位;因为波面上各点是彼此相干的,因此在这两个波面的重叠区将产生干涉(Fig.
1)。
剪切平板楔角方向与剪切方向垂直。如果被检光束完全平行,则干涉条纹平行于剪切方向;如果被检光束会聚或发散,则条纹将发生旋转(Fig.
2)。
用途:通过判断能读干涉条纹的形状可以求出原始波面的波差分布;根据条纹相对于水平基线的旋转角度可以计算出光束准直度。
优点:利用被测波面自身实现干涉,无需参考表面。 |